Die Ionenimplantation ist ein Verfahren zur Einbringung von Fremdatomen (in Form von Ion en) in ein Grundmaterial, Dotierung genannt. … Bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation handelt es sich um ein Vakuum verfahren zur meist großflächigen Implantation von Ion en in … B. Diffusion , Elektrophorese , Resublimation oder Beschuss mittels hochenergetischen Teilchen kanonen unter Vakuum (Ionenimplantation … Ionenimplanter sind Maschinen, die Werkstoffe mit geladenen Teilchen (Ion en) beschießen (Ionenimplantation ), um die Materialeigenschaften … Die LSS-Theorie ist eine theoretische grobe Beschreibung der Ionenimplantation von Jens Lindhard , Morten Scharff und Hans E. Schiott . … Mithilfe einer Maskierungsschicht ist es möglich, Diffusion , Ionenimplantation , Ätzen oder eine physikalische Gasphasenabscheidung auf … Dies geschieht durch Ionenimplantation oder Diffusion . Die Fremdatome werden dabei in verschiedenen Tiefen und in unterschiedlichen … Teilchenbeschleuniger n zu beschleunigen, ihre Masse in einem Massenspektrometer zu bestimmen oder Halbleiter durch Ionenimplantation zu dotieren. … das Bestrahlen von Festkörpern mit Partikelstrahlung, siehe Ionenimplantation entweder über die letzte Verdrahtungsmaske (Metallisierung), über Masken zum Einstellen der Dicke des Gateoxids oder über Ionenimplantation . … B. Ionenimplantation , galvanisches Aufwachsen von Metall, thermische Oxidation , Ätzen, etc.) schützen. Novolake werden in der Regel durch … Arsentrifluorid wird als Krebserregend eingestuft und wird zur Ionenimplantation und zur Herstellung von Arsen(V)-fluorid benutzt. … Für die Herstellung von IMPATT-Dioden gibt es generell drei Techniken: Epitaxie , Diffusion und Ionenimplantation . Dabei kommen auch … Ausgenutzt wird dies unter anderem in der Halbleitertechnik , wo Fremdatome mithilfe der Ionenimplantation in einen Kristall eingebracht … Ionenimplantation - Ionenimplanter : Gibt es einen Grund, Ionenimplantation und das Gerät dazu (das bei der Implantation auch beschrieben … Durch Ionenimplantation ist es möglich die Tiefe (wenige 100 nm) und die Breite (ca. 50 nm) des Bereich, in dem die Sauerstoffionen … Genauer kontrollierbare Verfahren basieren aber auf der Bestrahlung des Diamanten mit Ionen - der Ionenimplantation . Hierbei wird ein … B. das Auswaschen von Medikamenten oder Radionukliden in den Blutkreislauf zu verhindern, werden Techniken wie die Ionenimplantation oder … Dies ist notwendig, da die Schicht in den nachfolgenden Prozessschritten (Trockenätzen, Ionenimplantation) stark beansprucht wird. … Halbleitertechnologie, beispielsweise zum Beheben durch Ionenimplantation entstandenen Kristallschäden (sogenanntes „Ausheilen“, annealing). … Erfolgreich wurden insbesondere Technologien für die Ionen-Implantation zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente sowie für die … die Beseitigung von Kristallschäden, beispielsweise nach einem Ionenimplantation sschritt, oft als „Ausheilen“ bezeichnet. die Erhöhung … So kann sich beispielsweise bei der Dotierung durch Ionenimplantation eine Vorzugsrichtung beim Durchqueren der Ionen im Substrat … Gleiches ist bei Ionenimplantation zu beobachten. Starke Eigenspannungen sind auch in dünnen Schichten zu beobachten. Messung von … Ein mögliches Verfahren zur Dotierung (neben der Diffusion ) ist die Ionenimplantation , bei der der Wafer mit Ionen beschossen wird. …